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FR-Scanner 自动化超高速精准薄膜厚度测量仪

一、产品简介：

FR-Scanner 是一种紧凑的台式工具，适用于自动测绘晶圆片上的涂层厚度。FR-Scanner 可以快速和准确测量薄膜特性:厚度，折射率，均匀性，颜色等。真空吸盘可应用于任何直径或其他形状的样片。

独特的光学模块可容纳所有光学部件:分光计、复合光源(寿命10000小时)、高精度反射探头。因此，在准确性、重现性和长期稳定性方面***了优异的性能。FR-Scanner 通过高速旋转平台和光学探头直线移动扫描晶圆片(极坐标扫描)。通过这种方法，可以在很短的时间内记录具有高重复性的***反射率数据，这使得FR-Scanner 成为测绘晶圆涂层或其他基片涂层的理想工具。
测量 8” 样片 625 点数据<60 秒.



二、应用领域

o 弯曲基材（衬底）上的硬/软涂层

o 聚合物涂层、粘合剂等

o 生物医学（ parylene—— 派瑞林,气泡壁厚,等等 )

O 半导体生产制造：(光刻胶, 电介质,光子多层结构， poly-Si,Si, DLC )
o 光伏产业
o 液晶显示
o 光学薄膜
o 聚合物
o 微机电系统和微光机电系统
o 基底: 透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明




三、产品特点
o 单点分析(无需预设值）
o 动态快速测量
o 包括光学参数(n和k，颜色)
o 为演示保存视频
o 600 多种的预存材料
o 离线分析
o 免费软件更新







四、技术参数


五、工作原理





白光反射光谱（WLRS）测量方法是在一定波长范围内，分析垂直于样品表面的入射光和从单层或多层堆叠薄膜反射的反射光谱的分析方法。

由界面&表面产生的反射光谱被用于确定独立和附着于基底（在透明或部分/全反射基底上）的堆叠膜层的厚度、光学常数（n&k）等。








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&﹟8195;&﹟8195;在21世纪初期，岱美已从我们在香港的总部扩展到亚洲，以满足客户的多样化需求。在当今全球化的市场中，我们的客户包括连接东南亚各国的综合供应链，我们的专业人员随时准备与他们会面。

&﹟8195;&﹟8195;我们的总部设在香港，在中国大陆地区（北京和上海，以及广东东莞）拥有强大的业务。我们还在马来西亚，新加坡，台湾地区，菲律宾和泰国等东南亚国 家和地区设有分支机构。岱美拥有训练有素的工程师，能够为各地区用户提供快捷、可靠的技术支持和维修服务；为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求，岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练，务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。我们所有的分支机构都已建立数十年，我们的许多客户对我们与他们建立的长达数十年的合作关系感到满意。

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